半導體行業廢氣處理
半導體行（háng）業（yè）廢氣主要指的是電解質、矽、金屬、化學物質和有機物質等的廢氣。半導體工藝廢氣中的電解質廢氣主要來源於表麵（miàn）處理過程的清洗工序，而矽、金屬和化學物質廢氣主（zhǔ）要來源於製造工藝中的燒結、熔體澆注、清洗、蒸鍍和磷化等工序。有機物質廢氣主要來源於製造過程中使用的有機溶劑和有（yǒu）機物質的燃燒反應。
半導體廢氣處理方（fāng）法
目前，半導（dǎo）體行業有機（jī）廢氣處理方（fāng）法主要以下幾（jǐ）種方法：1、活性炭吸附法；2、燃燒法；3、化學法。酸堿（jiǎn）性廢氣可以選用洗滌塔、噴淋塔、吸收塔。
活性炭吸附是利用活（huó）性炭的吸附性質（zhì），通過接觸吸附，使廢（fèi）氣中的有害物質與活性炭（tàn）表麵結合，從而達到淨化廢氣的（de）目的。燃燒法是將廢氣中的有害物質（zhì）通過燃燒的（de）方式銷毀，減少對環境的汙染。化學吸收是利用吸收劑的吸收性質（zhì），使廢（fèi）氣中的有（yǒu）害物質與吸收劑發生化學反應或（huò）物理反應，使其轉化為（wéi）無害物質，從而淨化廢（fèi）氣。
目前，半（bàn）導體行業廢氣排放標準不同步，我國半（bàn）導體行業廢氣排放標準主要以《半導體工（gōng）業大氣汙染物（wù）排放標準》為（wéi）主（zhǔ），但是這個標準的主要（yào）適用（yòng）對象是生產芯片的企業，而且許多地區都有自己的排放標準，所以最終需要參考當地環保要求。
隨著（zhe）半導體行（háng）業的不斷進步（bù），半導體行業（yè）的廢氣處（chù）理技術也在不斷發展。根據不同的工藝（yì）流（liú）程，廢氣處理（lǐ）設備也（yě）會有所不同，不僅可以滿足（zú）環保排放標準，還能大大降低企業處理成本。
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